Trả lời nhanh
Bơm trong sản xuất pin mặt trời phải xử lý ba thách thức chất lỏng hoàn toàn khác nhau trong một nhà máy sản xuất duy nhất: hỗn hợp axit có tính ăn mòn cao (HF/HNO₃) để tạo nhám bề mặt wafer silicon, bùn mài mòn chứa hạt silicon và mạt kim cương từ quá trình cắt wafer, và hóa chất siêu tinh khiết nơi nhiễm bẩn kim loại ở mức phần tỷ làm giảm hiệu suất tế bào. Bơm công nghiệp tiêu chuẩn hỏng nhanh trong môi trường này — hoặc do ăn mòn thủng, mài mòn, hoặc rửa trôi ion kim loại làm ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm. Các yếu tố lựa chọn chính:
- Phù hợp vật liệu bơm với môi trường hóa chất cụ thể của từng bước quy trình: Bể tạo nhám axit hỗn hợp HF/HNO₃ yêu cầu bơm lót PTFE/PFA; PVDF có thể bị nứt do ứng suất trên 60°C trong điều kiện hóa chất và nhiệt kết hợp này, tùy thuộc vào nồng độ và cấp PVDF cụ thể. Tạo nhám kiềm KOH cho phép nhiều lựa chọn vật liệu hơn nhưng vẫn yêu cầu bề mặt ướt phi kim loại để ngăn nhiễm bẩn ion kim loại.
- Chọn thiết kế chống mài mòn cho mạch bùn cắt wafer: Dung dịch cắt mang hạt silicon (độ cứng Mohs 7) và mạt kim cương — chất mài mòn cứng nhất được biết đến, mặc dù có nồng độ thấp hơn nhiều so với hạt silicon — yêu cầu lớp lót UHMW-PE hoặc kim loại cứng. Các thành phần thép không gỉ tiêu chuẩn bị mòn thủng trong vòng vài tuần.
- Chỉ định bơm không có phớt hoặc bơm kín hoàn toàn cho các quy trình độ tinh khiết cao: Hệ thống cung cấp hóa chất PECVD và lò khuếch tán không thể chịu được dấu vết nhiễm bẩn kim loại từ mảnh vụn mòn phớt cơ khí hoặc ăn mòn vỏ bơm. Bơm từ tính với lớp lót PTFE/PFA loại bỏ cả nguồn rò rỉ và ion kim loại.
A pin mặt trời dây chuyền sản xuất đặt bơm quy trình vào các điều kiện bao trùm toàn bộ phổ thách thức xử lý chất lỏng công nghiệp. Trong các khu vực tạo nhám và khắc, axit flohydric hỗn hợp tấn công vật liệu bơm thông qua cơ chế hiệp đồng — axit nitric oxy hóa bề mặt vật liệu trong khi axit flohydric hòa tan lớp oxit, một tác động ăn mòn kết hợp mạnh hơn từng axit riêng lẻ. Trong khu vực cắt wafer, dung dịch cắt mang hạt silicon cứng hơn hầu hết vật liệu bơm và mạt kim cương cứng hơn bất kỳ kim loại nào. Trong các khu vực PECVD và khuếch tán, vỏ bơm giải phóng dù chỉ phần tỷ sắt hoặc niken có thể làm giảm tuổi thọ hạt tải thiểu số của mọi wafer được xử lý ở hạ nguồn.

Changyu Pump đã cung cấp bơm chống ăn mòn và chống mài mòn cho sản xuất quang điện trong hơn hai thập kỷ. Hướng dẫn này bao gồm lựa chọn bơm cho từng bước sản xuất pin mặt trời chính, từ tạo nhám hóa chất qua cắt wafer đến lắng đọng màng mỏng độ tinh khiết cao.
Điều Gì Làm Cho Việc Bơm Trong Sản Xuất Pin Mặt Trời Trở Nên Khó Khăn Đến Vậy?

Sản xuất pin mặt trời đặt ra ba thách thức bơm đồng thời mà không một thiết kế bơm đơn lẻ nào có thể giải quyết nếu không có đặc tả vật liệu cẩn thận.
Xử lý hóa chất ăn mòn: Các bước tạo nhám và khắc sử dụng hỗn hợp HF/HNO₃, dung dịch KOH nóng, và bể làm sạch HCl/H₂O₂. HF/HNO₃ đặt ra một thách thức đặc biệt — axit nitric cung cấp tiềm năng oxy hóa mạnh trong khi axit flohydric tạo phức và hòa tan các oxit tạo thành. Cơ chế hiệp đồng này tấn công kim loại và một số polyme mạnh hơn từng axit độc lập.
Chuyển bùn mài mòn: Cắt wafer — dù bằng cưa dây kim cương hay cưa bùn truyền thống — tạo ra dung dịch cắt chứa hạt cứng. Cưa dây kim cương hiện đại tạo ra hạt silicon (độ cứng Mohs 7) từ chính vật liệu wafer, cộng với mạt kim cương bong ra từ dây cắt. Cưa bùn truyền thống thêm chất mài mòn cacbua silic tự do. Cả hai quy trình đều tạo ra chất lỏng làm mòn vật liệu bơm tiêu chuẩn trong vòng vài tuần.
Cung cấp hóa chất siêu tinh khiết: PECVD, khuếch tán, và nước siêu tinh khiết các bước rửa yêu cầu nồng độ ion kim loại dưới mức phần tỷ. Các ion sắt, đồng và niken giải phóng từ bề mặt bơm bị ăn mòn hoặc mảnh vụn mòn phớt cơ khí hoạt động như các tâm tái hợp trong mạng tinh thể silicon. Một số kim loại như đồng và niken có thể làm giảm tuổi thọ hạt tải thiểu số ở nồng độ dưới 1 ppb.
Cách Chọn Bơm Cho Xử Lý Hóa Chất Ăn Mòn Trong Tạo Nhám và Khắc
Mạch tạo nhám và khắc axit đặt bơm vào tác động ăn mòn kết hợp của hỗn hợp axit nóng. Lựa chọn vật liệu phải tính đến cả môi trường hóa chất và nhiệt độ vận hành.
Tạo nhám axit hỗn hợp HF/HNO₃: Đây là môi trường hóa chất mạnh nhất trong sản xuất pin mặt trời. HNO₃ oxy hóa bề mặt kim loại trong khi HF hòa tan oxit, ngăn chặn sự thụ động và cho phép tấn công liên tục. Thép không gỉ — bao gồm 316L — không có khả năng chống ăn mòn hiệu quả trong môi trường này và có thể bị thủng trong vòng vài tuần. PVDF hoạt động đầy đủ ở nhiệt độ môi trường đến ấm nhưng có thể bị nứt do ứng suất trên 60°C dưới tải hóa chất và nhiệt kết hợp, tùy thuộc vào nồng độ và cấp PVDF cụ thể. Lớp lót PTFE và PFA cung cấp khả năng chống chịu đáng tin cậy trên toàn bộ dải nhiệt độ gặp trong bể tạo nhám, và thành phần phi kim loại của chúng loại bỏ nhiễm bẩn ion kim loại làm giảm chất lượng wafer.
Tạo nhám kiềm KOH: Được sử dụng để tạo nhám silicon đơn tinh thể, kali hydroxit nóng tấn công nhôm và thép không gỉ tiêu chuẩn. Yêu cầu hợp kim niken cao hoặc bơm lót fluoropolymer. Vì KOH không đặt ra thách thức oxy hóa như axit nitric, lớp lót PVDF hoạt động đầy đủ ở nhiệt độ cao điển hình của quy trình này.
Làm sạch HCl/H₂O₂: Sự kết hợp của axit clohydric và hydro peroxit tạo ra môi trường axit, oxy hóa. Bơm lót FEP hoặc PVDF với phớt bọc PTFE cung cấp dịch vụ đáng tin cậy.
Các kỹ sư tại Changyu Pump lưu ý: Đối với dịch vụ axit hỗn hợp HF/HNO₃ trên 60°C, lớp lót PTFE hoặc PFA là thông số kỹ thuật bắt buộc — PVDF có thể phát triển các vết nứt do ứng suất trong các điều kiện hóa học và nhiệt kết hợp này, đặc biệt trên 60°C. Luôn xác minh khả năng tương thích của cấp PVDF cụ thể với các điều kiện quy trình của bạn. Đây là lỗi lựa chọn vật liệu phổ biến nhất được quan sát thấy trong các hệ thống lắp đặt bơm khắc texturing pin mặt trời. Một bơm có lớp lót PVDF hoạt động đáng tin cậy trong quá trình vận hành ban đầu có thể hỏng đột ngột sau nhiều tháng tiếp xúc khi các vết nứt vi mô lan truyền qua vật liệu lót.
Để được hướng dẫn về lựa chọn vật liệu bơm cho các ứng dụng hóa chất ăn mòn mạnh khác, hãy xem hướng dẫn chuyên dụng của chúng tôi về Bơm Chất Tẩy Dạng Lỏng: Hướng Dẫn Toàn Diện Về Lựa Chọn & Vật Liệu.
Cách Chọn Bơm cho Vận Chuyển Bùn Mài trong Cắt Wafer
Quá trình cắt wafer tạo ra dung dịch cắt đồng thời có tính mài mòn và có khả năng ăn mòn, tùy thuộc vào hóa chất làm mát.
Thách thức về mài mòn: Cưa dây kim cương hiện đại tạo ra các hạt silicon (độ cứng Mohs 7) từ vật liệu wafer và mài mòn kim cương từ sự mài mòn của dây. Các hạt này có góc cạnh, cứng và tập trung ở nồng độ 20–40% trọng lượng trong dung dịch cắt. Các bơm ly tâm tiêu chuẩn với các bộ phận tiếp xúc ướt bằng gang hoặc thép không gỉ bị mài mòn qua cánh bơm và vỏ bơm trong vòng vài tuần.
Lựa chọn vật liệu cho bơm bùn: Lớp lót UHMW-PE (polyethylene trọng lượng phân tử siêu cao) cung cấp sự kết hợp tối ưu giữa khả năng chống mài mòn, tương thích hóa học với chất làm mát nước-glycol và hiệu quả chi phí cho các mạch dung dịch cắt wafer. Bề mặt ma sát thấp của vật liệu này còn làm giảm sự bám dính của hạt — một lợi thế đáng kể trong các mạch nơi các hạt silicon sẽ tích tụ và kết tụ trong thời gian bơm ngừng hoạt động.
Vận chuyển bạc và nhôm paste: Các paste kim loại hóa chứa bột kim loại lơ lửng trong chất kết dính hữu cơ. Các vật liệu này nhạy cảm với lực cắt — gia công cơ học quá mức làm giảm khả năng in — và dễ lắng đọng. Bơm ly tâm tốc độ thấp với lớp lót UHMW-PE hoặc fluoropolymer duy trì tuần hoàn đầy đủ mà không làm hỏng cấu trúc paste.
Các kỹ sư tại Changyu Pump khuyến nghị: Duy trì vận tốc dòng chảy tối thiểu 2,0–2,5 m/s trong các đường ống vận chuyển bùn để ngăn lắng đọng hạt silicon và tắc nghẽn đường ống. Đối với các mạch làm mát cắt wafer, bơm có lớp lót UHMW-PE cung cấp khả năng chống mài mòn kết hợp và tương thích hóa học với chất làm mát nước-glycol — bề mặt lót ma sát thấp làm giảm sự bám dính của hạt trong thời gian bơm ngừng hoạt động, một nguyên nhân phổ biến gây hư hỏng khi khởi động trong dịch vụ bùn mài mòn.
Cách Ngăn Ngừa Nhiễm Bẩn Ion Kim Loại trong Bơm Độ Tinh Khiết Cao cho Pin Mặt Trời
Việc cung cấp hóa chất độ tinh khiết cao cho PECVD, khuếch tán và làm sạch sau khắc không thể chấp nhận nhiễm bẩn kim loại từ vật liệu bơm.
Cơ chế nhiễm bẩn: Các ion kim loại hòa tan vào hóa chất quy trình từ hai nguồn liên quan đến bơm — ăn mòn chung của các bề mặt tiếp xúc ướt và mài mòn cơ học của các bộ phận động. Ngay cả vỏ bơm bằng thép không gỉ 316L hoạt động trong nước siêu tinh khiết cũng sẽ giải phóng các ion sắt, crom và niken ở nồng độ làm giảm chất lượng wafer. Các mặt cơ khí và lò xo là nguồn thứ cấp nhưng đáng kể — mảnh vụn mài mòn của phớt chứa các hạt kim loại đi vào dòng quy trình phía sau bơm.
Hệ thống phân cấp độ sạch vật liệu cho bơm pin mặt trời: Thép không gỉ 316L tiêu chuẩn giải phóng các ion Fe, Cr và Ni ngay cả trong dịch vụ hóa chất nhẹ — không được khuyến nghị cho bất kỳ quy trình pin mặt trời tiếp xúc trực tiếp nào. PVDF cung cấp độ sạch tốt với sự giải phóng ion fluoride không thường xuyên trong các điều kiện khắc nghiệt. PTFE và PFA cung cấp độ trơ hóa học cao nhất với sự giải phóng ion không đáng kể trên tất cả các môi trường quy trình pin mặt trời.
Cân nhắc về phớt kín: Ngay cả một bơm chống ăn mòn cũng có thể gây nhiễm bẩn thông qua phớt cơ khí của nó. Các mặt phớt cứng (silicon carbide, tungsten carbide) tạo ra mảnh vụn mài mòn. Lò xo phớt — thường là thép không gỉ — bị ăn mòn trong hóa chất quy trình và giải phóng các ion kim loại. Bơm từ tính loại bỏ cả phớt động và lò xo kim loại, loại bỏ đồng thời hai nguồn nhiễm bẩn.
Các kỹ sư tại Changyu Pump khuyến nghị: Đối với các quy trình PECVD và khuếch tán nơi nhiễm bẩn kim loại vết ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu suất tế bào, bơm từ tính có lớp lót PTFE/PFA là thông số kỹ thuật được khuyến nghị. Thiết kế không phớt loại bỏ mảnh vụn mài mòn của phớt cơ khí — một nguồn nhiễm bẩn hạt kim loại thường bị bỏ qua trong các hệ thống cung cấp hóa chất độ tinh khiết cao. Khi không thể tránh khỏi phớt cơ khí, hãy chỉ định phớt ống thổi PTFE không có lò xo kim loại và các mặt phớt cứng-chống-cứng (silicon carbide so với silicon carbide) để giảm thiểu phát sinh hạt mài mòn.
Ma Trận Lựa Chọn Bơm cho Sản Xuất Pin Mặt Trời
| Bước Quy Trình | Chất lỏng | Thử thách chính | Loại bơm được khuyến nghị | Tài liệu tham khảo | Thay thế |
|---|---|---|---|---|---|
| Khắc texturing axit | Hỗn hợp HF/HNO₃ | Ăn mòn mạnh + oxy hóa | Ly tâm hoặc từ tính | Lót PTFE/PFA | PVDF (chỉ <60°C) |
| Khắc texturing kiềm | KOH (nóng) | Sự ăn mòn | Ly tâm | PVDF hoặc PTFE/PFA | Hợp kim niken cao |
| Làm sạch RCA | HCl/H₂O₂ | Ăn mòn + oxy hóa | Ly tâm | FEP hoặc PVDF | PTFE/PFA |
| Cắt wafer | Dung dịch cắt + hạt Si | Mài mòn | Ly tâm | vỏ bọc UHMW-PE | Kim loại cứng |
| Vận chuyển bạc paste | Bột Ag + chất kết dính | Độ nhạy cắt | Ly tâm tốc độ thấp | UHMW-PE hoặc FEP | — |
| PECVD/khuếch tán | TMA, POCl₃, tiền chất lỏng | Nhiễm bẩn kim loại | Ổ đĩa từ | Lót PTFE/PFA | — |
| Nước siêu tinh khiết | UPW | Nhiễm bẩn kim loại | Ly tâm hoặc từ tính | PVDF hoặc PTFE/PFA | — |
Để được hướng dẫn về lựa chọn bơm cho các ứng dụng bùn mài mòn trong các ngành công nghiệp khác, hãy xem hướng dẫn chuyên dụng của chúng tôi về Bơm Bùn Men Gốm: Vận Chuyển Men Mài Mòn & Cao Lanh.
Nghiên Cứu Điển Hình về Bơm trong Sản Xuất Pin Mặt Trời: Giải Quyết Rò Rỉ Ăn Mòn HF/HNO₃ trong Bể Khắc Texturing Pin Mặt Trời
Một nhà sản xuất pin quang điện tại Trung Quốc đã vận hành bơm ly tâm bằng thép không gỉ 316L để tuần hoàn axit hỗn hợp HF/HNO₃ qua các bể khắc texturing wafer của họ ở nhiệt độ xấp xỉ 40°C. Các bơm phục vụ một dây chuyền sản xuất liên tục xử lý wafer silicon đơn tinh thể.
Trong vòng hai tuần kể từ khi vận hành, các kỹ sư nhà máy phát hiện axit rò rỉ từ các lỗ ăn mòn dạng chân kim trên vỏ bơm. Kiểm tra các bơm đã tháo ra cho thấy sự ăn mòn đồng đều trên diện rộng của bề mặt thép không gỉ. Ngoài nguy cơ mất an toàn rõ ràng do rò rỉ axit, các vỏ bơm bị hòa tan đang giải phóng các ion sắt, niken và crom trực tiếp vào bể texturing — làm nhiễm bẩn wafer với các ion kim loại, làm giảm hiệu suất tế bào. Các kỹ sư quy trình đã liên hệ chu kỳ thay thế bơm với sự gia tăng không rõ nguyên nhân của các khuyết tật bề mặt wafer.

Changyu Pump đã thay thế các bơm thép không gỉ bằng bơm ly tâm có lót FEP dòng CYB-ZKJ với cơ cấu phớt kép. Lớp lót fluoropolymer loại bỏ cả ăn mòn và giải phóng ion kim loại. Cơ cấu phớt kép với vòng chữ O bọc PTFE ngăn ngừa rò rỉ phớt, vốn cũng là vấn đề tái diễn với các bơm ban đầu.
Sau 36 tháng vận hành liên tục kể từ khi nâng cấp: không có ăn mòn hoặc rò rỉ vỏ bơm; các bơm vẫn hoạt động tốt tính đến lần kiểm tra gần nhất. Dữ liệu quy trình cho thấy sự loại bỏ các đợt khuyết tật wafer định kỳ trước đây có liên quan đến khoảng thời gian thay thế bơm. Bảo trì bơm giảm từ thay thế khẩn cấp mỗi 2–3 tuần xuống còn kiểm tra phớt theo kế hoạch hàng năm. Chi phí bơm ban đầu cao hơn đã được thu hồi trong vòng bốn tháng nhờ loại bỏ gián đoạn sản xuất và các lô wafer bị loại bỏ.
Bài học chính: Thép không gỉ không có chỗ trong dịch vụ axit hỗn hợp HF/HNO₃. Thành phần axit nitric ngăn cản sự hình thành lớp oxit crom thụ động thường bảo vệ thép không gỉ khỏi ăn mòn. Một bơm có lót fluoropolymer không phải là nâng cấp — đó là thông số kỹ thuật vật liệu tối thiểu khả thi cho ứng dụng này.
Giải pháp Bơm Sản xuất Tế bào Quang điện từ Changyu Pump
| Đơn đăng ký | Challenge | Các bộ phim được đề xuất | Tính năng chính |
|---|---|---|---|
| Texturing axit, khắc axit | Ăn mòn HF/HNO₃ | Dòng CYB-ZKJ | Lót FEP/PFA; phớt kép |
| POCl₃, TMA, tiền chất lỏng | An toàn + nhiễm bẩn kim loại | Dòng CYQ | Truyền động từ; lót PTFE/PFA; không rò rỉ |
| Bùn cắt wafer | Mài mòn + ăn mòn | Dòng UHB | Lót UHMW-PE; chống mài mòn và hóa chất |
| Hồ bạc/nhôm | Độ nhạy cắt | Dòng UHB hoặc CYB-ZKJ | Vận hành tốc độ thấp; lớp lót chống dính |
| Nước siêu tinh khiết, làm sạch | Nhiễm bẩn kim loại | Dòng CYQ hoặc CYB-ZKJ | Bề mặt ướt phi kim loại |
Dòng CYQ — Bơm Truyền động Từ cho Vận chuyển Hóa chất Nguy hiểm và Độ tinh khiết Cao

Bơm hóa chất truyền động từ CYQ được thiết kế để vận chuyển không rò rỉ các hóa chất ăn mòn cao, độc hại và độ tinh khiết cao. Lớp lót fluoroplastic FEP/PFA/PTFE dày, khớp nối từ đất hiếm và cấu trúc kín hoàn toàn loại bỏ rò rỉ phớt trục. Lý tưởng cho POCl₃, TMA và các tiền chất lỏng nguy hiểm khác trong quy trình PECVD và khuếch tán.
| Tham số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Lưu lượng | 3–800 m³/giờ |
| Trưởng phòng | 15–125 m |
| Công suất động cơ | 2,2–110 kW |
| Tốc độ | 950 vòng/phút |
| Nhiệt độ | -20°C đến 180°C |
| Vật liệu lót | FEP / PFA / PTFE |
Dòng UHB — Bơm Lót UHMW-PE cho Vận chuyển Bùn Mài mòn

Bơm ly tâm UHMW-PE lót thép cho các ứng dụng bùn mài mòn. Khả năng chống mài mòn tuyệt vời trước các hạt silicon và hạt mài kim cương trong chất làm mát cắt wafer, kết hợp với khả năng tương thích hóa học với chất làm mát glycol-nước. Bề mặt lót ma sát thấp giảm bám dính hạt trong thời gian ngừng hoạt động.
| Tham số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Lưu lượng | 3–2.600 m³/giờ |
| Trưởng phòng | 5–100 m |
| Công suất động cơ | 0,75–300 kW |
| Tốc độ | 750–2.900 vòng/phút |
| Nhiệt độ | -20°C đến 90°C |
| Chất liệu lót | UHMW-PE |
Dòng CYB-ZKJ — Bơm Ly tâm Lót Fluoropolymer cho Dịch vụ Axit và Hóa chất

Bơm ly tâm lót FEP/PFA cho vận chuyển và tuần hoàn hóa chất ăn mòn. Phớt kép với chất lỏng chắn cung cấp khả năng làm kín đáng tin cậy cho tuần hoàn bể texturing axit và làm sạch liên tục. Lớp lót fluoropolymer cách ly hoàn toàn vỏ bơm khỏi chất lỏng được bơm.
| Tham số | Thông số kỹ thuật |
|---|---|
| Lưu lượng | 3–2.600 m³/giờ |
| Trưởng phòng | 5–100 m |
| Công suất động cơ | 0,75–300 kW |
| Nhiệt độ | -80°C đến 120°C |
| Vật liệu lót | FEP (loại tiêu chuẩn), PFA (loại chịu nhiệt cao) |
Câu hỏi thường gặp về Bơm trong Sản xuất Tế bào Quang điện
H: Tại sao không thể sử dụng bơm thép không gỉ cho bể texturing HF/HNO₃?
TL: Thành phần axit nitric ngăn cản sự hình thành lớp oxit crom bảo vệ thường thụ động hóa thép không gỉ. Axit hydrofluoric sau đó tấn công kim loại lộ ra, gây ăn mòn đồng đều nhanh chóng. Bơm thép không gỉ có thể thủng trong vòng vài tuần trong dịch vụ này, đồng thời giải phóng các ion kim loại làm nhiễm bẩn wafer.
H: Vật liệu bơm nào tốt nhất cho axit hỗn hợp HF/HNO₃?
TL: Lớp lót PTFE và PFA cung cấp khả năng chống hóa chất cao nhất trên toàn bộ dải nhiệt độ của bể texturing. PVDF chấp nhận được ở nhiệt độ môi trường đến ấm nhưng có thể bị nứt do ứng suất trên 60°C trong điều kiện hóa học và nhiệt kết hợp HF/HNO₃, tùy thuộc vào nồng độ và cấp PVDF cụ thể.
H: Làm thế nào để ngăn các hạt silicon lắng đọng trong bơm bùn cắt wafer?
TL: Duy trì vận tốc dòng chảy tối thiểu 2,0–2,5 m/s trong đường ống vận chuyển bùn. Chỉ định bơm lót UHMW-PE — bề mặt lót ma sát thấp giảm bám dính hạt trong thời gian ngừng hoạt động của bơm, một nguyên nhân phổ biến gây hư hỏng khi khởi động trong mạch bùn mài mòn.
H: Nhiễm bẩn ion kim loại ảnh hưởng thế nào đến hiệu suất tế bào quang điện?
TL: Các ion kim loại (Fe, Cu, Ni) hòa tan từ bề mặt bơm hoạt động như các trung tâm tái hợp trong mạng tinh thể silicon. Ngay cả nồng độ phần tỷ cũng làm giảm tuổi thọ hạt tải thiểu số, trực tiếp làm giảm hiệu suất chuyển đổi tế bào. Một số kim loại như đồng và niken đặc biệt có hại ở nồng độ dưới 1 ppb. Vật liệu bơm phi kim loại là cần thiết cho các bước quy trình độ tinh khiết cao.
H: Sự khác biệt giữa PVDF và PTFE/PFA cho bơm hóa chất tế bào quang điện là gì?
TL: PVDF cung cấp khả năng chống hóa chất tốt và chi phí thấp hơn, phù hợp cho texturing kiềm KOH và dịch vụ axit ở nhiệt độ môi trường. PTFE và PFA cung cấp tính trơ hóa học tối đa và định mức nhiệt độ cao hơn, cần thiết cho HF/HNO₃ nóng trên 60°C và các quy trình độ tinh khiết cao, nơi ngay cả sự giải phóng ion fluoride vết từ PVDF cũng không thể chấp nhận được.
Danh sách kiểm tra phòng ngừa dành cho kỹ sư bơm Changyu
- Không bao giờ chỉ định bơm thép không gỉ cho bể texturing axit hỗn hợp HF/HNO₃. Axit nitric ngăn thụ động hóa, và HF tấn công kim loại lộ ra.
- Nâng cấp từ PVDF lên lớp lót PTFE/PFA khi nhiệt độ bể texturing vượt quá 60°C, và luôn xác minh khả năng tương thích của cấp PVDF với các điều kiện quy trình cụ thể. Nứt do ứng suất PVDF dưới tiếp xúc kết hợp HF/HNO₃ là lỗi lựa chọn vật liệu phổ biến nhất trong các lắp đặt bơm tế bào quang điện.
- Đối với mạch làm mát cắt wafer, duy trì vận tốc dòng chảy tối thiểu 2,0–2,5 m/s để ngăn lắng đọng hạt silicon. Lớp lót UHMW-PE cung cấp khả năng chống mài mòn kết hợp tốt nhất và độ bám dính hạt thấp.
- Chỉ định bơm truyền động từ cho các quy trình cung cấp hóa chất có độ tinh khiết cao như PECVD, khuếch tán và các quy trình khác. Mảnh vụn mài mòn từ phớt cơ khí là nguồn gây nhiễm bẩn kim loại thường bị bỏ qua.
- Khi không thể tránh khỏi phớt cơ khí, hãy chỉ định thiết kế ống thổi PTFE không có lò xo kim loại và bề mặt phớt cứng-không-cứng (silicon cacbua với silicon cacbua) để giảm thiểu phát sinh hạt mài mòn. Lò xo phớt bằng thép không gỉ tiêu chuẩn bị ăn mòn và giải phóng các ion kim loại vào dòng quy trình.
- Xả bơm bằng nước sạch sau mỗi chu kỳ sản xuất. Hóa chất quy trình bị ứ đọng làm tăng tốc độ suy thoái lớp lót và thúc đẩy hình thành tinh thể tại bề mặt phớt.
- Dự trữ phớt cơ khí, vòng chữ O và miếng đệm dự phòng trong kho. Sự tấn công oxy hóa của HNO₃ lên chất đàn hồi khiến việc thay thế các bộ phận phớt diễn ra thường xuyên hơn so với các dịch vụ hóa chất khác.
Kết luận
Bơm trong sản xuất pin mặt trời phục vụ ba loại chất lỏng riêng biệt — hỗn hợp axit ăn mòn, bùn cắt mài mòn và hóa chất siêu tinh khiết — trong một nhà máy sản xuất duy nhất. Không có một thiết kế hoặc vật liệu bơm đơn lẻ nào phục vụ đầy đủ cả ba loại. Quy trình khắc axit HF/HNO₃ yêu cầu bơm lót PTFE/PFA với phớt cơ khí kép. Mạch làm mát cắt wafer yêu cầu lớp lót UHMW-PE để có khả năng chống mài mòn và hóa chất kết hợp. Việc cung cấp hóa chất có độ tinh khiết cao cho PECVD và khuếch tán được hưởng lợi từ bơm truyền động từ, loại bỏ cả rò rỉ phớt động và mảnh vụn mài mòn phớt cơ khí. Điểm chung xuyên suốt tất cả các ứng dụng bơm pin mặt trời là yêu cầu về bề mặt ướt phi kim loại — sự nhiễm bẩn ion kim loại từ các bộ phận bơm bị ăn mòn trực tiếp làm giảm chất lượng sản phẩm mà bơm được thiết kế để giúp sản xuất.

Đội ngũ kỹ thuật của Changyu Pump cung cấp các khuyến nghị bơm cụ thể theo ứng dụng cho sản xuất quang điện, dựa trên hơn 20 năm kinh nghiệm về bơm chống ăn mòn và chống mài mòn trong các ứng dụng xử lý hóa chất và độ tinh khiết cao.
